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随着半导体电子技术的发展,陶瓷基板和金属电路层。对于电子封装来说,大功率、小尺寸LED器件的散热要求越来越高。封装基板起着连接前面和内外散热通道的主要关键作用,具有电气互连和机械支撑的功能。因此成为LED封装散热基板材料的重要选择。
陶瓷基板可分为高温共烧多层陶瓷基板(HTCC)、低温共烧陶瓷基板(LTCC)、厚膜陶瓷基板(TFC)、直接键合铜陶瓷基板(DBC)、直接电镀铜陶瓷基板(DPC)等
其中,直接键合铜陶瓷基板和直接镀铜陶瓷基板只有一个字的区别,那么这两种有什么区别呢?
DPC工艺是对陶瓷基板进行预处理和清洗,利用半导体工艺在陶瓷基板上溅镀铜籽晶层,然后通过曝光、显影、刻蚀、成膜实现线路图形。最后通过电镀或化学镀增加铜线的厚度,去除光刻胶后完成金属化线的制作。
DBC工艺是在铜与陶瓷之间添加氧元素,在1065-1083℃之间得到Cu-0共晶液,然后反应得到中间相(CuAlO2或CuAl2O4),从而实现铜板与陶瓷的化学冶金结合。陶瓷基板。最后通过光刻技术形成图形制备。
DBC可分为3层,中间绝缘材料为工艺AI203或AIN。 AI203的导热系数通常为24W/(m-k),AIN的导热系数为170W/(m-k)。 DBC基板Al203/AlN的热膨胀系数相近,非常接近LED外延材料的热膨胀系数,可以显着降低芯片与基板之间产生的热应力。
1)低温工艺(300℃以下)完全避免了高温对材料或线路结构的不利影响,也降低了制造工艺的成本;
2)采用薄膜及光刻显影技术,使基板上的金属线路更加精细(线宽尺寸20~30m,表面平整度小于0.3m,线路对位精度误差小于±1) %),因此DPC基板非常适合对位精度要求较高的电子器件的封装。
由于铜箔具有良好的导电导热性能,而氧化铝可以有效控制Cu-A12O3-Cu复合材料的膨胀,使DBC基板具有与氧化铝相近的热膨胀系数,因此DBC具有导热性能好的优点、绝缘性、可靠性等,已广泛应用于IGBT、LD、CPV封装。特别是由于铜箔较厚(100~600μm),在IGBT、LED封装领域优势明显。
1)电镀沉积铜层厚度有限,电镀废液污染严重;
2)金属层与陶瓷结合强度低,产品可靠性低。
1)制备工艺利用Cu与Al2O3在高温(1065℃)下发生共晶反应,对设备和工艺要求较高,衬底成本较高;和
2)由于Al203和Cu层易产生微孔,降低了产品的抗热震性能,这些缺点已成为DBC基板推广的瓶颈。
本文转载自https://mp.weixin.qq.com/s/yW9jX-Zr5zs7wcgb0F5pEw
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