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氮化铝陶瓷基板
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半导体用氮化铝陶瓷静电吸盘

半导体用氮化铝陶瓷静电吸盘

我们的氮化铝具有良好的抗氧化性、抗化学侵蚀性、抗热冲击性、机械强度、低介电常数、与硅晶体相似的热膨胀系数和高导热性。

产品详情:

  1. 材质:氮化铝。
  2. 作用:绝缘、散热。
  3. 颜色:灰色。
  4. 类型:陶瓷。
  5. 可定制:可以,请提供具体产品的图纸。

半导体用氮化铝陶瓷静电吸盘

产品描述:

在现代半导体制造工艺中,晶圆是分多个步骤进行加工的,晶圆需要在数百台工艺设备之间来回转移。因此需要一种装置来夹持晶圆。静电吸盘通过静电吸附来夹持晶圆,吸附力均匀稳定,晶圆不会翘曲变形,可以保证晶圆的加工精度和清洁度。

我们的服务:

我们的氮化铝基板有各种尺寸和厚度可供选择。

规格:

尺寸(长x宽)φ110*110mm
厚度5毫米等
导热系数170W/米·K
介电常数8-9(兆赫)
堆积密度3.3克/立方厘米
表面粗糙度拉 < 双面0.6μm

公司优势:

华清成立于2004年,投资总额8000万元人民币,注册资本4000万元人民币。华庆的AlN & Al2O3陶瓷产品与业内其他工厂相比,具有高导热率、低介电常数、良好的损耗因数和优异的机械性能。 AlN & Al2O3陶瓷广泛应用于HBLED、光通信、IGBT、功率器件、TEC等高端应用。

厂房及设备:

包装及交付:
通过 UPS、DHL、Fedex 等运送。

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