静电吸盘用氮化铝陶瓷
产品描述:
静电吸盘 (ESC) 用于各种半导体工艺,以在加工过程中固定晶圆。 ESCs采用带有集成电极的压板,用高压偏置在压板和晶圆之间建立静电保持力,从而“夹住”晶圆。氮化铝陶瓷具有高导热性和绝缘性能,可以作为ESC材料。
我们的氮化铝基板 (AlN) 有各种尺寸和厚度可供选择。得益于大量的实时库存,我们可以快速运送您的零件,以便您开始您的项目。
我们的服务:
请联系我们进行定制。我们还可以提供导热系数高达 230W/mK 的氮化铝 (AlN) 陶瓷
规格:
尺寸(长x宽) | φ170mm等 |
厚度 | 10 毫米等 |
导热系数 | 170W/m.K |
介电常数 | 8-9 (兆赫) |
堆积密度 | 3.3 克/立方厘米 |
表面粗糙度 | 双面Ra≤6μm |
公司优势:
华清成立于2004年,总投资8000万元人民币,注册资本4000万元人民币。华清的AlN&Al2O3陶瓷产品与同行业其他厂家相比,具有导热系数高、介电常数低、损耗因数好、机械性能优良等特点。 AlN & Al2O3陶瓷广泛应用于HBLED、光通讯、IGBT、功率器件、TEC等高端应用领域。
厂房及设备:
包装和交付:
通过 UPS、DHL、Fedex 等交付
为什么您需要我们的服务,您知道您将获得高素质的专业人士,他们拥有专业知识和经验,可以确保您的项目正确完成并发挥作用。
如果您想免费咨询,请开始填写表格: