静电吸盘用氮化铝陶瓷
产品描述:
静电吸盘 (ESC) 用于各种半导体工艺,在加工过程中固定晶圆。ESC 采用带有集成电极的压板,电极施加高压偏压,在压板和晶圆之间建立静电吸附力,从而“吸附”晶圆。氮化铝陶瓷具有高导热性和绝缘性能,可作为 ESC 材料。

我们的氮化铝 (AlN) 基板提供各种尺寸和厚度。凭借大量库存,我们可以快速发货,助您启动项目。
我们的服务:
如需定制,请联系我们。我们还可提供导热系数高达 230W/mK 的氮化铝 (AlN) 陶瓷。
规格:
| 尺寸(长x宽) | φ170mm等 |
| 厚度 | 10毫米等 |
| 热导率 | 170瓦/米开尔 |
| 介电常数 | 8-9(兆赫) |
| 堆积密度 | 3.3克/立方厘米 |
| 表面粗糙度 | 两侧 Ra ≤6 μm |
公司优势:
华清成立于2004年,总投资8000万元人民币,注册资本4000万元人民币。华清生产的氮化铝(AlN)和氧化铝(Al2O3)陶瓷产品,与同行业其他厂家相比,具有高导热率、低介电常数、良好的损耗角正切和优异的机械性能等特点。氮化铝(AlN)和氧化铝(Al2O3)陶瓷产品广泛应用于高亮度LED、光通信、绝缘栅双极晶体管(IGBT)、功率器件、TEC等高端应用领域。
车间及设备:




包装和交付:
通过 UPS、DHL、Fedex 等运送





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