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氮化铝陶瓷基板
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静电吸盘用氮化铝陶瓷

Aluminum nitride ceramic ESC plate

静电吸盘用氮化铝陶瓷

1.材质:氮化铝。

2.功能:绝缘、散热陶瓷。

3.类型:陶瓷。

4.颜色:灰色。

5.可定制:可以,具体产品请提供图纸。

静电吸盘用氮化铝陶瓷

产品描述:

静电吸盘 (ESC) 用于各种半导体工艺中,用于在加工过程中固定晶圆。 ESC 采用带有集成电极的压板,通过高压偏置在压板和晶圆之间建立静电保持力,从而“卡紧”晶圆。氮化铝陶瓷具有高导热性和绝缘性能,可以作为 ESC 材料。

我们的氮化铝基板 (AlN) 有各种尺寸和厚度可供选择。凭借大量的实时库存,我们可以快速运送您的零件,以便您开始您的项目。

我们的服务:
请联系我们进行定制。我们还可以提供导热系数高达 230W/mK 的氮化铝 (AlN) 陶瓷

规格:

尺寸(长x宽)φ170mm等
厚度10毫米等
导热系数170W/米·K
介电常数8-9(兆赫)
堆积密度3.3克/立方厘米
表面粗糙度两侧Ra≤6μm

公司优势:

华清成立于2004年,投资总额8000万元,注册资本4000万元。华庆的AlN & Al2O3陶瓷产品与业内其他工厂相比,具有高导热率、低介电常数、良好的损耗因数和优异的机械性能。 AlN & Al2O3陶瓷广泛应用于HBLED、光通信、IGBT、功率器件、TEC等高端应用。

厂房及设备:

 

 

 

 

包装及交付:
通过 UPS、DHL、Fedex 等运送

 

 

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